光導波回路

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋田収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-006367
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214128
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】光導波回路基板の反りを防止する。【構成】本発明の光導波回路は、基板と、その基板表面に形成された光導波路と、その基板の裏面の一部もしくは全面に作製された熱伝導性の応力付与膜とからなる。前記応力付与膜は、アモルファス・シリコン膜(応力付与膜)の表面に水素ガス放出防止用薄膜を設けたものである。

請求項（抜粋）：