特許
J-GLOBAL ID:200903042917623880
画面の欠陥検出方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
小林 久夫
, 佐々木 宗治
, 木村 三朗
, 大村 昇
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-028478
公開番号(公開出願番号):特開2004-239733
出願日: 2003年02月05日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】明欠陥に限らず暗欠陥も検出でき、さらに欠陥を検出する際の処理時間を短くすることを目的とする。【解決手段】被検査対象の画面を撮像した画像に対して各種欠陥を強調して検出するため欠陥強調処理を行う工程と、欠陥強調処理された画像に対して画像を表示している階調の略中央値をオフセット値として加算する工程と、オフセット値が加算された画像の画素の輝度値に基づく統計データを計算する工程と、統計データに基づいて明欠陥と暗欠陥を抽出するための閾値をそれぞれ設定し、統計データとこれら閾値から明欠陥と暗欠陥の欠陥候補を抽出する工程とを有してなるものである。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
被検査対象の画面を撮像した画像に対して各種欠陥を強調して検出するため欠陥強調処理を行う工程と、
欠陥強調処理された画像に対して画像を表示している階調の略中央値をオフセット値として加算する工程と、
オフセット値が加算された画像の画素の輝度値に基づく統計データを計算する工程と、
統計データに基づいて明欠陥と暗欠陥を抽出するための閾値をそれぞれ設定し、統計データとこれら閾値から明欠陥と暗欠陥の欠陥候補を抽出する工程と、
を有することを特徴とする画面の欠陥検出方法。
IPC (3件):
G01N21/88
, G01M11/00
, G02F1/13
FI (3件):
G01N21/88 J
, G01M11/00 T
, G02F1/13 101
Fターム (15件):
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EB02
, 2G051EC01
, 2G051ED03
, 2G051ED14
, 2G086EE10
, 2H088EA12
, 2H088FA12
, 2H088FA13
, 2H088FA30
, 2H088MA02
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