特許
J-GLOBAL ID:200903042922803943
光学素子およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-103777
公開番号(公開出願番号):特開2005-292245
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】従来の光導波路素子では、屈折率のほぼ等しい基板を貼り合わせて形成する場合、中間層を設ける必要があり、このために高価になっていた。【解決手段】光学研磨された第1の基板1と光学研磨された第2の基板2とを直接接合してなる光学素子において、第1の基板1内に光導波路5を備え、少なくとも光導波路5の下の直接接合面4に微小な空孔3を備えた光学素子であり、これにより中間層が不要となり、低価格化および接合強度の向上が図れる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光学研磨された第1の基板と光学研磨された第2の基板とを直接接合してなる光学素子において、前記第1の基板内に光導波路を備え、少なくとも前記光導波路の下の直接接合面に微小な空孔を備えた光学素子。
IPC (3件):
G02B6/122
, G02F1/035
, G02F1/377
FI (3件):
G02B6/12 A
, G02F1/035
, G02F1/377
Fターム (25件):
2H047KA03
, 2H047KA05
, 2H047KA08
, 2H047KA13
, 2H047LA23
, 2H047NA02
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047QA01
, 2H047QA02
, 2H047TA11
, 2H047TA22
, 2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA01
, 2H079CA05
, 2H079DA03
, 2H079EA03
, 2H079JA06
, 2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA03
, 2K002DA06
, 2K002FA29
, 2K002HA20
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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