特許

J-GLOBAL ID：200903042923484647

低表面張力硫酸組成物

発明者： 西 峰雄 ,  大村 恭弘 ,  迫 直樹
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 横倉 康男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-234928
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070798
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【構成】一般式R1-SO2-NR2-CH2-(CHOR3)n-CHOCOR4(A)(式中、R1はフルオロアルキル基、R2は芳香族基で置換されていてもよいアルキル基又はアルケニル基、R3は水素原子又はSO3H基、R4はアルキル、アルケニル又は芳香族基を表わし、nは0又は1を表わす。)で示されるフルオロアルキルスルフォンアミド化合物を配合した硫酸組成物。【効果】低表面張力の硫酸組成物が得られ、半導体製造工程洗浄剤等に有用である。

請求項（抜粋）：

一般式(A)【化1】 R1-SO2-NR2-CH2-(CHOR3)n-CHOCOR4 (A)(式中、R1はフルオロアルキル基を、R2は芳香族基で置換されていてもよいアルキル基又はアルケニル基を、R3は水素原子又はSO3Hを、R4はアルキル、アルケニル又は芳香族基を表わし、nは0又は1を表わす。)で示されるフルオロアルキルスルフォンアミド化合物よりなるフッ素系界面活性剤を硫酸に配合することを特徴とする低表面張力硫酸組成物。

IPC (4件)：

C11D 10/02 ,  H01L 21/304 341 ,  C11D 1:12 ,  C11D 7:08