特許

J-GLOBAL ID：200903042924823615

無関節搬送装置

発明者： 鹿島 秀夫 ,  金友 正文 ,  鈴木 高道 ,  小田島 均 ,  井上 道泰 ,  但馬 武 ,  小林 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-317751
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155774
出願日： 1995年12月06日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 基板を保持し展開するアームを板バネで構成することで、汚染、誤動作の原因となるにしゅう動機構を持たない、大気中における食品移動から宇宙環境下で使用されるマニプレータまで多岐分野に渡る広い産業分野で、安価で小型な高信頼性、高精度の性能を発揮する移動装置を提供することにある。【解決手段】 試料を保持するハンドと、ハンドの両端に、少なくともその一部が弾性材料から成る弾性変形可能なバネを、重力方向の剛性が得られる姿勢で固定する。各々のバネのもう一方の端を、各々回転自在な回転軸受けを介してフランジに支持した回転アームの一端に、ハンドの中心と回転アームの回転中心を結ぶ中心線に対して左右対象となるように固定する。回転アームはモータに接続した2つの駆動軸に各々固定する。【効果】 基板を保持し展開するハンド及びアームには、転がり軸受けなどの一切のしゅう動機構を必要としないため、負圧、正圧、液中、ガス中、清浄、宇宙環境などの雰囲気条件下で稼働可能な高信頼性で自由度の高い移動装置が実現できる。

請求項（抜粋）：

真空、高圧、液中、ガス中、清浄などの雰囲気条件下において、ハンドに移載した基体を移動または搬送する搬送装置であって、基体を保持するハンドと、該ハンドに一端を接続し、他端が独立にまたは同期して駆動可能な2つの駆動軸とそれぞれ接続し、少なくともその一部が弾性材料から成り、かつ関節部を備えない一対の腕と、前記雰囲気とは隔離された雰囲気下に設置された駆動源と、前記駆動源により駆動され、シール手段を介して前記雰囲気下に露出して前記一対の腕のそれぞれの一端と接続する2つの駆動軸とより構成されたことを特徴とする無関節搬送装置。