特許
J-GLOBAL ID:200903042928177491

ダイアモンド状コーティング層を有する研磨物品およびその方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-508125
公開番号(公開出願番号):特表平10-504495
出願日: 1995年08月08日
公開日(公表日): 1998年05月06日
要約:
【要約】本発明は、少なくとも1つの主要表面を有するシート状基材;該基材の少なくとも1つの主要表面に接着した、複数の研磨粒子と有機バインダー媒体を含む研磨コーティング;およびダイアモンド状のカーボンフィルムを含む硬質カーボンコーティング層を含んで成る研磨物品を提供する。被覆研磨物品中の硬質カーボンコーティング層は、トップコートとしても、あるいは研磨コーティングと、有機バインダー層をベースとする被覆層の間に位置するようにも提供できる。本発明は、研磨物品の作製方法にも関する。
請求項(抜粋):
(a)少なくとも1つの主要表面を有するシート状構造の基材;(b)該基材の少なくとも1つの主要表面に接着した、複数の研磨粒子および有機バインダー媒体を含む研磨コーティング;および(c)ダイアモンド状カーボンフィルムを含む硬質カーボンコーティング層を含んでなる研磨物品。
IPC (5件):
B24D 3/00 320 ,  B24D 11/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04
FI (6件):
B24D 3/00 320 B ,  B24D 11/00 A ,  B24D 11/00 Q ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26 ,  C30B 29/04 X

前のページに戻る