曲面研磨方法、及び曲面研磨装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143922
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323252
出願日： 1996年06月06日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】加工精度の向上、及びコストダウンを図ること。【解決手段】弾性を有する略球形状の研磨工具52で、研磨工具52の押付け方向を加工面34Aの法線と一致させると共に研磨工具52の回転軸51Aを加工面34Aの法線に対して所定の角度に維持しながら加工面34Aを走査して研磨加工を行うようにした。また、研磨時に、研磨工具52の研磨位置に応じて研磨工具52の回転速度、或いは研磨工具の押付け力の少なくとも1つを制御するようにした。

請求項（抜粋）：

弾性を有する略球形状の研磨工具を準備し、表面形状に応じて変化する加工物の加工面の法線と前記研磨工具の押付け方向を一致させて所定の押付け力で前記研磨工具を前記加工面に押付けると共に前記研磨工具を所定の回転軸を中心にして回転させ、且つ、前記法線と前記研磨工具の前記所定の回転軸との角度を所定の角度に維持しながら前記研磨工具で前記加工面を走査して前記加工面を研磨することを特徴とする曲面研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭63-251162
研磨工具
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-012096 出願人：株式会社東芝
曲面研磨方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-133495 出願人：キヤノン株式会社

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