レチクルホルダ

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235688
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082606
出願日： 1995年09月13日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】レチクルホルダ1に保持されたレチクルRのパターンの変形により、感光基板に転写されたパターンに歪みが生ずる。この歪みを制御(小さく)したい。【解決手段】レチクルホルダ1のレチクル吸着面1Bの面形状を面形状変形手段(フランジ1E+ピエゾ素子21)によって変化させる。ピエゾ素子21に電力を供給すると、ピエゾ素子が伸びてフランジ1Eが上に突出する。これによって、転写されるパターンの歪みを制御することができ、パターンの歪みを所望値、例えば最小とすることができる。また、異なるレチクルや異なる露光装置で転写されるパターンの歪みを揃えることができ、重ね合わせ誤差やつなぎ合わせ誤差を低減することができる。

請求項（抜粋）：