特許
J-GLOBAL ID：200903042942473338
誘電体反射膜及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221213
公開番号（公開出願番号）：特開平7-079049
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、所望の反射率を有する誘電体反射膜を実現する技術を提供することである。【構成】 単一物質で形成され、複数の異なる屈折率を有する層が積層された単一物質膜を含む。また、誘電体反射膜製造方法は、真空容器内に被着部材と、蒸着物質を配置して、被着部材の膜形成面に加速されたイオンを衝突させながら、該蒸着物質を蒸発させて該被着部材の膜形成面に蒸着物質の膜を形成する誘電体反射膜形成方法において、単一光学膜形成中に前記イオンによるイオンアシスト効果を変化させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
単一物質で形成され、複数の異なる屈折率を有する層が積層された単一物質膜を含む誘電体反射膜。
IPC (3件)：
H01S 3/18
, G02B 1/10
, G02B 5/08
