特許

J-GLOBAL ID：200903042942753438

機械化学的研磨装置用の基板検出機構を有するキャリヤヘッド

発明者： ボリス グーズマン ,  スティーヴン ズニガ ,  ハング チャン ,  サソン ソメク
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143025
公開番号（公開出願番号）：特開平10-337658
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】 キャリヤヘッド内の基板の存在を確実に検知でき、装置がスラリによる汚染に対してキャリヤヘッドの内部を暴露することなく操作できるCMP装置を提供する。【解決手段】 機械化学的研磨装置用キャリヤヘッドは基板検知機構を含む。キャリヤヘッドはベースと、ベースに連結されてチャンバを画成する可撓部材とを含む。可撓部材の下面は基板受入面を提供する。基板検知機構は、チャンバの圧力を測定してそれを表す出力信号を発生させるセンサと、出力信号に応じて、基板が基板受入面に取り付けられているか否かを示すように構成されたプロセッサとを含む。

請求項（抜粋）：

ベースと、下面が基板受入面を提供している、前記ベースに連結されてチャンバを画成する可撓部材と、前記基板受入面と前記チャンバとの間の、前記可撓部材の開口部と、を備える機械化学的研磨装置用キャリヤヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平7-508685
  
• ウエーハの研磨方法および研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-284393   出願人：信越半導体株式会社