特許

J-GLOBAL ID：200903042945304880

水晶デバイス

発明者： 小野 公三
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-129645
公開番号（公開出願番号）：特開2007-306068
出願日： 2006年05月08日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

【目的】容器本体の貫通部を閉塞して真空度を良好に維持した水晶デバイス特に音叉型振動子を提供する。【構成】絶縁性の容器本体2に少なくとも水晶片1を収容してカバーを被せ、前記容器本体2に設けられた段差を有する貫通部7を真空雰囲気中で金属にて閉塞し、真空封止とした水晶デバイスにおいて、前記貫通部7における前記段差の表面にはAuからなる金属膜が設けられ、前記金属膜上にはNiメッキされた金属板9の外周に設けられた周回する環状突起9aを当接し、前記金属膜と前記金属板9との間を通電する抵抗溶接によって前記金属膜と前記金属板9の環状突起9aとを接合して、前記貫通部7を閉塞する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

積層セラミックからなる容器本体に少なくとも水晶片を収容してカバーを被せ、前記容器本体に設けられた段差を有する貫通部を真空雰囲気中で金属にて閉塞し、真空封止とした水晶デバイスにおいて、前記貫通部における前記段差の表面にはAuからなる金属膜が設けられ、前記金属膜上にはNiメッキされた金属板の外周に設けられた周回する環状突起を当接し、前記金属膜と前記金属板との間を通電する抵抗溶接によって前記金属膜と前記金属板の環状突起とを接合して、前記貫通部を閉塞したことを特徴とする水晶デバイス。

IPC (2件)：

H03H 9/02 ,  H01L 23/02

FI (4件)：

H03H9/02 A ,  H03H9/02 D ,  H01L23/02 G ,  H01L23/02 C

Fターム (12件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC06 ,  5J108DD02 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電振動子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-210009   出願人：セイコーエプソン株式会社