特許
J-GLOBAL ID：200903042947751980
走査光学ユニット検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-103184
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292312
出願日： 1999年04月09日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】走査光学ユニットの走査特性としての走査速度の等速性を迅速に検査できる走査光学ユニット検査装置を実現する。【解決手段】被検走査光学ユニット4を保持する保持手段10,12,13,16と、レーザビーム走査方向に格子を形成され、レーザビームを強度変調する光学格子6と、強度変調されたレーザ光を光電変換する受光素子7と、光学格子と受光素子とを一体として変位させ、複数の測定位置に順次に位置させる変位手段11,14,15,17と、受光素子の出力を増幅する増幅器8と、増幅された信号の波形を測定する波形観測手段9と、複数の測定位置における波形観測手段の観測結果に基づくデータを測定位置の順に従って結合するデータ処理手段18,19と、変位手段等を制御するコントローラ手段19とを有し、データ処理手段は、増幅器により増幅された信号の時間周期を1周期ごとにデータとして抽出し、測定位置の順に従って結合する。
請求項（抜粋）：
レーザビームを光学的に走査する走査光学ユニットの走査特性を検査する走査光学ユニット検査装置であって、走査特性を検査すべき走査光学ユニットを検査位置に保持する保持手段と、この保持手段により保持された走査光学ユニットのレーザビーム走査方向に格子を形成され、レーザビームを強度変調し、上記格子の形成幅がレーザビームの走査領域に対して小さい光学格子と、この光学格子により強度変調されたレーザ光を受光して光電変換する受光素子と、上記光学格子と受光素子とを一体としてレーザビームの走査方向に変位させ、複数の測定位置に順次に位置させる変位手段と、上記受光素子の出力を増幅する増幅器と、この増幅器により増幅された信号の波形を測定する波形観測手段と、上記複数の測定位置における上記波形観測手段の観測結果に基づくデータを測定位置の順に従って結合するデータ処理手段と、少なくとも、上記変位手段、上記データ処理手段、上記保持手段に保持された走査光学ユニットを制御するコントローラ手段とを有し、上記データ処理手段は、上記増幅器により増幅された信号の時間周期を1周期ごとにデータとして抽出し、測定位置の順に従って結合することを特徴とする走査光学ユニット検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G02B 26/10 E
2G086EE12
, 2H045AA01
, 2H045DA46
