特許
J-GLOBAL ID：200903042949052800
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289589
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127384
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 (A)式(1)で示されるポリアミド酸エステル、(B)式(2)で示されるN-フェニルグリシン及びその誘導体、(C)チオール化合物類を必須成分とする感光性樹脂組成物。【効果】 優れた感光特性、特に感度を向上させた、保存特性も良好な感光性ポリイミド樹脂組成物を得ることができる。
請求項（抜粋）：
(A)式(1)で示されるポリアミド酸エステル、(B)式(2)で示されるN-フェニルグリシン及びその誘導体、(C)チオール化合物類を必須成分とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (10件)：
G03F 7/038 504
, C08K 5/20 KKX
, C08K 5/22 KKT
, C08L 77/06
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/038 501
, H01L 21/027
, C08G 73/10 NTF
