特許

J-GLOBAL ID：200903042950375930

感光性ポリイミド前駆体組成物、およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： 吉川 治彦 ,  片岡 文雄 ,  竹元 一成 ,  田中 順 ,  磯田 敬子 ,  内村 俊一郎 ,  鍛治 誠 ,  杉浦 実
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-132353
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095848
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】水溶液により短時間で高解像度に現像できる高感度のネガ型感光材料。【解決手段】塩基性水溶液に可溶であり、露光により硬化して該塩基性水溶液に不溶化する、下記一般式(化1)で表される繰返し単位を10モル%以上含む感光性ポリイミド前駆体を用いる。ただし、式中、R1は4個以上の炭素を含む4価の有機基、R2は芳香族環を含む3価または4価の有機基、R3は1価の有機基、Aは酸性を示す1価の基、nは1または2である。【化1】

請求項（抜粋）：

下記一般式(化1)で表される繰返し単位を有し、重量平均分子量が1万〜20万であることを特徴とするポリイミド前駆体。【化1】(ただし、式中、R1は4個以上の炭素を含む4価の有機基、R2は芳香族環を含む3価または4価の有機基、R3は1価の有機基、Aは酸性を示す1価の基、nは1または2である。)

IPC (8件)：

C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (8件)：

C08G 73/10 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開平2-008221
  
• 特開昭64-060630
  
• 特開昭62-100530
  
• 特開昭52-059634
  
• 特公昭47-025476
  

審査官引用 (5件)

• 特開平2-008221
  
• 特開昭64-060630
  
• 特開昭62-100530
  
• 特開昭52-059634
  
• 特公昭47-025476