特許
J-GLOBAL ID：200903042953000636
水溶性感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290992
公開番号（公開出願番号）：特開平5-011442
出願日： 1991年08月19日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 水溶性ポリマーに感光基を導入して、従来のものに比べ、高感度で保存安定性及び基板との密着性に優れた実用性の高い水溶性感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 下記一般式【化3】で表わされる構成単位を有する高分子化合物から成る水溶性感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)【化1】で表わされる構成単位を有する高分子化合物から成る水溶性感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/012 501
, G03F 7/038 501
, H01L 21/027
