特許

J-GLOBAL ID：200903042957659438

圧電型駆動装置

発明者： 中野 勝志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051246
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248037
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的では、探針の駆動装置が小型化でき、かつ、高速な探針走査を可能とする圧電型駆動装置を提供することにある。【構成】 本発明では、試料面に平行なXY平面を走査するXY平面走査用部材と前記XY平面に垂直なZ方向に駆動するZ方向駆動用部材とを有した圧電型駆動装置であって、支持部材と、Z方向駆動用圧電素子を複数枚積層したZ方向駆動用部材と、支持部材とそのZ方向駆動用部材との間に設けられ、そのZ方向駆動用圧電素子の積層方向に対し垂直な方向で、かつ、支持部材とZ方向駆動用駆動部材とを結ぶ方向に対し垂直な方向でXY平面走査用圧電体を複数枚積層し、それぞれのXY平面走査用圧電体を積層した方向に対し、垂直なXY平面走査用圧電体の面に電極面を設けたXY平面走査用駆動部材と、それぞれのXY平面走査用圧電体に設けられた電極面間に、それぞれ任意の電圧を印加するXY平面走査用圧電駆動部材供給電源とを備えた。

請求項（抜粋）：

試料面に平行なXY平面を走査するXY平面走査用部材と前記XY平面に垂直なZ方向に駆動するZ方向駆動用部材とを有した圧電型駆動装置であって、支持部材と、Z方向駆動用圧電素子を複数枚積層したZ方向駆動用部材と、前記支持部材と前記Z方向駆動用部材との間に設けられ、前記Z方向駆動用圧電素子の積層方向に対し垂直な方向で、かつ、前記支持部材と前記Z方向駆動用駆動部材とを結ぶ方向に対し垂直な方向でXY平面走査用圧電体を複数枚積層し、それぞれの前記XY平面走査用圧電体を積層した方向に対し、垂直なXY平面走査用圧電体の面に電極面を設けたXY平面走査用駆動部材と、それぞれの前記XY平面走査用圧電体に設けられた電極面間に、それぞれ任意の電圧を印加するXY平面走査用圧電駆動部材供給電源とを備えたことを特徴とする圧電型駆動装置。