特許
J-GLOBAL ID：200903042958781164
多電極偏向器,その製造方法及び荷電粒子ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088753
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297107
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 多電極偏向器及び荷電粒子ビーム装置の改善に関し、荷電粒子ビームを偏向制御する電極及びその配線の配置位置を工夫して、その電極による電界を同一方向にし、かつ、配線の抵抗及び容量を調整することにより、信号遅延量の均一化を図り、パターン露光精度を向上させる。【構成】 偏向器は、荷電粒子ビームEBを通過させる開口部11A,荷電粒子ビームEBの偏向制御をする共通電極101及び個別電極102を有する複数の単位偏向部Ui,〔i=1〜n〕と、共通電極101及び個別電極102を基板103の周辺領域に導く引出し配線104とを備え、共通電極101の配置位置に対して個別電極102の配置位置が一定方向に揃えられる。装置は、荷電粒子発生手段19及びビーム偏向手段20を備え、本発明の多電極偏向器から成るブランキングアパーチャーアレイ201がビーム偏向手段20に設けられる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビーム(EB)を通過させる開口部(11A),該開口部(11A)を挟んで対向配置され、前記荷電粒子ビーム(EB)の偏向制御をする共通電極(101)及び個別電極(102)を有する複数の単位偏向部(Ui,〔i=1〜n〕)と、前記共通電極(101)及び個別電極(102)を基板(103)の周辺領域に導く引出し配線(104)とを備え、前記共通電極(101)及び個別電極(102)間の電界の方向が面内で、同一方向になるように、前記共通電極(101)の配置位置に対して個別電極(102)の配置位置が一定方向に揃えられることを特徴とする多電極偏向器。
IPC (7件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, G21K 5/04
, H01J 9/14
, H01J 37/147
, H01J 37/305
