特許

J-GLOBAL ID：200903042965500383

カップ型砥石

発明者： 高野 俊行 ,  高橋 務
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361312
公開番号（公開出願番号）：特開平11-188644
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 砥石内部で研削液が溜まりにくいカップ型砥石を提供する。【解決手段】 周壁部2bを有するカップ型の台金2と、周壁部2bの下端に環状に配列された砥粒層セグメント6と、台金2の上端面に形成された受液凹部14と、この受液凹部14の内底面14bに一端が開口し他端が台金下面の周壁部2bよりも内周側の位置に開口する多数の給液孔16とを具備する。給液孔16は上方から下方へ向けて台金半径方向外方へ向かう角度で形成され、かつ給液孔16は上方から下方へ向けて流路断面積が縮小するテーパ形状である。

請求項（抜粋）：

周壁部を有するカップ型の台金と、この台金の周壁部の下端に環状に配列された砥粒部と、前記台金の上端面に形成された受液凹部と、この受液凹部の内底面に一端が開口し他端が台金下面の前記周壁部よりも内周側の位置に開口する給液孔とを具備し、前記給液孔は上方から下方へ向けて台金半径方向外方へ向かう角度で形成され、かつ前記給液孔の少なくとも一部は上方から下方へ向けて流路断面積が縮小する形状をなしていることを特徴とするカップ型砥石。