特にリソグラフィのための極短紫外の光を生成するための方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦 , 実広信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-582673
公開番号（公開出願番号）：特表2004-533704
出願日： 2002年04月16日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

特にリソグラフィのための、極短紫外の光を生成するための方法及び装置。本発明により、レーザ光線24が、液体の微小液滴の高密度の霧20と相互作用させられる。この液体は、液化された希ガスである。特に、液体キセノン6が用いられ、この液体キセノンは、気体キセノン10を液化することによって生成される。液体キセノンは、気体キセノンによって、5×105Paから50×105Paまでの圧力に加圧され、液体キセノンは、-70°Cから-20°Cまでの温度に維持される。加圧された液体キセノンは、最小内径が60μmから600μmまでのノズル4に入射される。このノズルは、圧力が10-1Pa以下の領域に向かって開いている。

請求項（抜粋）：

レーザ光線(24)とターゲットの間の相互作用からプラズマを発生させることにより極短紫外の光(30)を発生させるための方法において、前記ターゲットを、液体の微小液滴から構成した高密度の霧(20)から形成し、前記液体を、液化させた希ガスとし、それも特に液体キセノンとし、前記液体を、前記希ガスを液化することによって生成し、前記液体を、前記希ガスによって加圧し、キセノンの場合には、5×105Paから50×105Paの範囲にある圧力に加圧し、その一方で、該液体キセノンを-70°Cから-20°Cの範囲にある温度に維持し、前記ガスの圧力と温度を、さらに選んで前記希ガスが液体の状態となるようにし、こうして加圧された液体を、ノズル(4)内に注入し、前記ノズルの最小内径を、60μmから600μmの範囲とし、前記ノズルを、圧力が10-1Pa以下となる領域に向かって開放し、前記ノズルの出口における領域で、高密度で指向性のある液化された希ガス液滴の霧を発生させ、この液滴の平均寸法が1μmより大きくなるようにし、特に、キセノンの場合には、この液滴の平均寸法が5μmから50μmの範囲にあるようにし、前記高密度の霧が、前記ノズルの軸線(X)に沿って指向されたジェットを形成するようにし、このようにして得られた前記高密度の霧に向かって、レーザ光線をさらに集束させ、前記レーザ光線が、前記高密度の霧と相互作用できるようにして、これにより、極短紫外領域の光を発生させるようにすることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H05G2/00 , H01J35/20 , H01L21/027

FI (3件)：

H05G1/00 K , H01J35/20 , H01L21/30 531S

Fターム (8件)：

4C092AA06 , 4C092AA14 , 4C092AA15 , 4C092AB21 , 4C092AC09 , 4C092BD19 , 5F046GA03 , 5F046GC03

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