表面性状測定機

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120752
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310529
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】表面性状測定機の検出器増幅率を自動調整する。【解決手段】載物台12上にワーク14を載せ、スタイラスを有する検出装置16を図中X軸方向に移動させてワーク14表面をトレースする。検出装置16は、ワーク14の凹凸を電気信号に変換し、増幅した後デジタル変換してコンピュータに出力する。検出装置16の増幅率は当初最高値に設定され、測定値がレンジオーバと判定された場合に段階的に低下調整する。

請求項（抜粋）：

被測定物の凹凸を電気信号に変換する検出手段と、前記検出手段からの電気信号を増幅する増幅手段と、前記増幅手段で増幅された電気信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段と、を有する表面性状測定機において、前記A/D変換手段からのデジタル信号が所定の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記判定手段で所定の範囲外であると判定された場合に前記増幅手段の増幅率を低下させる制御手段と、を有することを特徴とする表面性状測定機。

IPC (3件)：

G01B 21/30 , G01B 21/20 , G01N 37/00

FI (3件)：

G01B 21/30 Z , G01B 21/20 C , G01N 37/00 A

Fターム (11件)：

2F069AA54 , 2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069GG01 , 2F069GG12 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069HH30 , 2F069LL03 , 2F069NN08

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-053111
特開平1-110214

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