特許

J-GLOBAL ID：200903042989719335

浮遊粒子計測装置

発明者： 古森 秀樹 ,  岩本 猛 ,  越中 昌夫 ,  小坂 宣之 ,  宮崎 陽子 ,  高浜 亨
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-006505
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213795
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 粒子の検出感度を損なうこと無く、大きな面積の測定領域で粒子測定ができるようにすることを目的とする。【構成】 レーザプラズマチューブ1、共振ミラー12、外部共振ミラー13により外部共振式レーザ発振器を構成し、平凹シリンドリカルレンズ10,平凸シリンドリカルレンズ11により共振光路内のレーザ光のビーム形状をシート状にし、この部分を被測定流体が通過する測定領域とする。

請求項（抜粋）：

外部ミラーとレーザ媒質の間の共振光路の所定の領域において、レーザ光が断面が長方形のシート状となっているレーザ発振器と、前記所定の領域内のシート状になっているレーザ光を横切るように通過する流体通過部と、前記所定の領域と流体通過部との交わる領域で生じる、前記シート状になっているレーザ光の散乱光を検出する光検出手段とを有することを特徴とする浮遊粒子計測装置。

IPC (5件)：

G01N 15/00 ,  G01N 15/02 ,  G01N 15/14 ,  G02B 27/10 ,  H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-172242
  
• 特開平1-260345
  
• 特開平4-006436