特許
J-GLOBAL ID：200903042994220136
スライシング装置により切り出されるウェハの面取り方法及び装置並びに面取り用砥石
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-173434
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019857
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【課題】 ウェハ保持装置や回転駆動装置、さらにはこれらへウェハを搬送する装置を特設することなく、スライシング装置から切り出されるウェハを良好に面取りする。【解決手段】 ワーク保持駆動手段19によってワーク30を保持しかつ回転させながら、回転駆動されるブレード10の内周刃11に対して切断送りすることにより、上記ワーク30からウェハを切り出すスライシング装置において、上記ウェハの切り出しを完了する前に、上記ワーク30を回転させながらその外周面に面取り用砥石42を押付けることにより、上記ウェハの面取り形状を予め形成しておく方法、及び、そのための装置並びに面取り用砥石42。
請求項（抜粋）：
ワークを保持して回転させるワーク保持駆動手段と、このワーク保持駆動手段及びこのワーク保持駆動手段により保持されるワークをスライシング用のブレードに対してスライシング方向に相対移動させる切断送り手段とを備えたスライシング装置により上記ワークから切り出されるウェハを面取りするための方法であって、上記ワーク保持駆動手段にワークを保持させた後、このワークからのウェハの切出しを完了する時点よりも前の段階で、上記ワーク保持駆動手段によりワークを回転させながらこのワークの外周面に上記ウェハの面取り形状に対応する周面形状をもつ面取り用砥石の周面を押付けることによりこのワーク外周面に予めウェハの面取り形状を形成しておくことを特徴とするスライシング装置により切り出されるウェハの面取り方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 9/00 L
, B28D 5/02 A
