特許

J-GLOBAL ID：200903042995278537

モニタリング装置とその方法

発明者： 磯崎 茂則
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159578
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243678
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 複数のプロセス機器(製造機器)が構成する製造ラインの品質検査で得られた不良結果と、その原因となる異常現象との関連付けを容易にし、かつ、検査工程など後の工程まで不良品を流すことのないようにする製造ラインのプロセス機器(製造機器)のモニタリング装置とその方法。【解決手段】 複数の機器1a、1b、1wに設けられた各センサSa1〜Swnは、当該センサSa1〜Swnが設置された各機器1a、1b、1wと各機器1a、1b、1wをセンサフィードバック制御するモニタ10との双方へ検出結果を伝達する。

請求項（抜粋）：

検出対象を検出するセンサをそれぞれ有する複数の機器と、この各機器をセンサフィードバック制御する手段を具備するモニタとを有するモニタリング装置において、前記センサは、当該センサが設置された前記各機器と前記モニタとの双方へ検出結果を伝達し、前記モニタは各センサからの検出結果に基づいて前記各機器をセンサフィードバック制御していることを特徴とするのモニタリング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/302 E

Fターム (11件)：

5F004AA00 ,  5F004BA04 ,  5F004BB11 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB28 ,  5F004CB01 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DB02 ,  5F004DB03