特許
J-GLOBAL ID：200903043006131758
圧電体薄膜素子及びこれを用いたインクジェット式記録ヘッド
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252776
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095111
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 反りや歪みが少ない圧電体薄膜を提供するとともに、この圧電体薄膜を振動子として備えたインクジェト式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 圧電体膜15と、圧電体膜15を挟んで配置される上部電極16と下部電極14と、を備えた圧電体薄膜素子において、下部電極14を少なくとも二層金属膜構造とし、相対的に、該二層金属膜の第1層金属膜14aの結晶粒子を小さく、第2層の金属膜14bの結晶粒子を大きく形成する。下部電極14が基板の反りと反対方向の反りを与えるために、基板表面の反りや撓みを減少することが可能となる。
請求項（抜粋）：
圧電体膜と、前記圧電体膜を挟んで配置される上部電極と下部電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、前記下部電極は少なくとも第1及び第2の二層金属膜構造を備え、相対的に、前記第1層の金属膜の結晶粒子が小さく、第2層の金属膜の結晶粒子が大きく形成される、ことを特徴とする圧電体薄膜素子。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
