特許

J-GLOBAL ID：200903043008998546

真直度測定装置

発明者： 滝谷 俊夫
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295830
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146125
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】 対象面の物性値の影響を無くし、厳密な測定を可能とした真直度測定装置を提供する。【構成】 水平方向に移動自在な移動体5’に、測定面までの距離を測定する3台の光学式センサ4’を等間隔で同じ高さ位置で配置し、3台のセンサ4’と測定面間の距離を変動するために移動体5’に水平溝6を設けてピエゾ素子7を配設し、初期状態において、ピエゾ素子7を駆動して3台のセンサ4’の距離検出信号を入力し、以後移動体5’のセンサ間隔移動毎に距離検出信号を入力し、この間隔毎に逐次多点法により測定面と移動体の基準水平面との距離を演算して記憶し、真直度を測定・評価する演算装置を設けて構成する。【効果】 光学式センサ4’が受ける対象面の反射率の影響を受けずに、真直度を測定・評価することができる。

請求項（抜粋）：

被測定物の測定面に対向して水平方向に移動自在な移動体を設け、この移動体に、前記測定面までの距離を測定する3台の非接触式センサを前記水平方向に等間隔で同じ高さ位置で配置し、前記移動体の3台のセンサと前記測定面間の距離を変動する変動手段を設け、初期状態において、前記変動手段を駆動して前記3台のセンサの距離検出信号を入力し、以後前記移動体のセンサ間隔移動毎に3台のセンサの距離検出信号を入力し、この間隔毎に逐次多点法により前記測定面と前記移動体の基準水平面との距離を演算して記憶し、その距離の推移により真直度を評価する演算装置を設けたことを特徴とする真直度測定装置。