ガスセンサとその製造方法及びガスセンサシステム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅原正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334108
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162175
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】被測定ガス中の酸素濃度や素子温度が変動しても、該被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度を高精度で検出でき、しかも可燃ガス成分の検出応答特性に優れたガスセンサを提供する。【解決手段】ガスセンサ1において被測定ガスは、第一処理室9において酸素濃度調整用ポンプ素子3の作動により酸素濃度が所定レベルに調整される。そして、これを第二処理室10に導き、酸化触媒部として機能する電極16,17の補助により可燃ガス成分を燃焼させる。可燃ガス成分濃度検出素子5は、定電圧が印加された状態で上記燃焼により酸素量が変化すると、その酸素量変化に応じて出力電流を変化させるので、該出力電流の値から、もとの被測定ガス中の可燃ガス成分の濃度情報を得ることができる。また、第二処理室内10での可燃ガス成分の燃焼に必要な酸素は、測定用酸素供給ポンプ素子6が汲み込む酸素により補われる。従来の装置のようにフィードバック系を使用せず、可燃ガス成分濃度の変化が素子5の電流情報変化に直接表れるので、検出の応答性に優れる。

請求項（抜粋）：

周囲から区画されるとともに、第一気体流通部を介して被測定ガスが導入される第一処理室と、周囲から区画されるとともに、前記第一処理室内の気体が第二気体流通部を介して導かれる第二処理室と、前記第一処理室内の気体の酸素濃度を測定する酸素濃度検出素子と、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、酸素を前記第一処理室から汲み出す又は前記第一処理室へ汲み込むことにより、当該第一処理室内へ導入された前記被測定ガス中の前記酸素濃度検出素子が検出する酸素濃度を所定のレベルに調整する酸素濃度調整用ポンプ素子と、前記第二気体流通部を介して前記第一処理室から前記第二処理室内に導入された気体に対し、当該気体に含まれる可燃ガス成分の燃焼を促進させる酸化触媒部と、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が前記第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極間に通電することにより、前記被測定ガス中の可燃ガス成分の測定に用いる一定量の測定用酸素を前記第二処理室に汲み込む測定用酸素供給ポンプ素子と、酸素イオン伝導性固体電解質により構成されて両面に電極が形成され、その一方の電極が前記第二処理室と接して配置されるとともに、それら両電極を介して前記第二処理室から酸素を汲み出す向きに一定の電圧が印加されるようになっており、前記第一処理室から前記第二処理室内に導入された気体中の、前記可燃ガス成分の燃焼により消費される酸素量に応じてその出力電流を変化させ、当該出力電流が前記被測定ガス中の前記可燃ガス成分の濃度検出情報として取り出される可燃ガス成分濃度検出素子と、を備えたことを特徴とするガスセンサ。

IPC (3件)：

G01N 27/416 , G01N 27/41 , G01N 27/419

FI (5件)：

G01N 27/46 331 , G01N 27/46 311 G , G01N 27/46 325 N , G01N 27/46 327 N , G01N 27/46 327 E

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