特許
J-GLOBAL ID：200903043011622590
流量センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-087695
公開番号（公開出願番号）：特開2009-243923
出願日： 2008年03月28日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】被計測流体が通過するオリフィスを有するダイアフラムが設けられた枠部を備えて構成される流量センサにおいて、被計測流体の漏れを抑えるようにする。【解決手段】流量センサ1は、開口部14を有する配線シート11と、開口部14の周囲において配線シート11にフリップチップ実装された半導体チップ2と、半導体チップ2の内側において半導体チップ2と一体に設けられ、オリフィス5を有したダイアフラム4と、ダイアフラム4に形成された抵抗体6,7と、半導体チップ2と配線シート11の接合部を被覆したパラキシリレン系樹脂による被膜21と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
一面上に形成された配線部と開口部とを有する基板と、
前記基板の一面上において、前記開口部の周囲に接合された枠部と、
前記枠部の内側において前記枠部と一体に設けられ、被計測流体が通過するオリフィスを有したダイアフラムと、
前記ダイアフラム上に形成された複数のピエゾ抵抗体と、
少なくとも前記枠部と前記基板との接合部を被覆するパラキシリレン系樹脂被膜と、を備えることを特徴とする流量センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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米国特許第6253605号明細書
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特開昭63-236923号公報
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