特許

J-GLOBAL ID：200903043012063810

クリーンルーム用ステンレス鋼部材およびその製造方法

発明者： 東 茂樹 ,  山中 和夫
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 穂上 照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209103
公開番号（公開出願番号）：特開平7-062520
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】高純度ガス配管としては部材表面からの水分放出が低減され、超純水配管部材としては金属イオン放出量が抑えられ、さらに腐食性ガスに対する優れた耐食性を有するクリーンルーム用ステンレス鋼部材およびその製造方法を提供する。【構成】(1) Siを 0.5〜 5.0重量%含有するオーステナイトステンレス鋼材であって、その表面に、Siを主体とする酸化皮膜を有することを特徴とするクリーンルーム用ステンレス鋼部材。(2) Siを 0.5〜 5.0重量%含有するオーステナイトステンレス鋼材を、酸素濃度10容量ppm 以下で、かつ、水蒸気濃度10容量ppm 以下である不活性ガスまたは水素雰囲気中で、 750〜1200°Cの温度範囲に加熱することを特徴とする上記 (1)のクリーンルーム用ステンレス鋼部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

Siを 0.5〜 5.0重量%含有するオーステナイトステンレス鋼材であって、その表面に、Siを主体とする酸化皮膜を有することを特徴とするクリーンルーム用ステンレス鋼部材。

IPC (2件)：

C23C 8/18 ,  H01L 21/02