特許

J-GLOBAL ID：200903043018751212

ワイヤボンダーにおけるボール形成方法及び装置

発明者： 浦 正直
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351522
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181111
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 キャピラリの先端に送り出されたワイヤとトーチロッドとの間でたとえ異常放電が発生しても、常に正常なボールを形成できるようにすること。【解決手段】 キャピラリ3には、ワイヤ4が挿通されており、このワイヤ4の先端とトーチロッド7との間には定電流開閉器5および放電安定器6を介して高圧直流電源1からの直流電圧が印加されるよう構成されている。また前記キャピラリ3とトーチロッド7との間に印加される電圧値を検出するための放電電圧分割検出器12が具備され、この検出器12によって検出された電圧値が所定値以下である場合においては、検出器12より電流設定器10に対して前記所定値に対する放電電圧の低下量に対応させて放電電流を増加させる制御信号を供給させるように成される。

請求項（抜粋）：

被ボンディング部品に対してワイヤをボンディングするためのボンディングツールと、前記ボンディングツールより送り出されたワイヤにボールを形成するための電気放電手段と、前記ワイヤと電気放電手段との間に高電圧を印加させて放電を起こさせるための電源回路とを備え、前記ワイヤと電気放電手段との間に印加される電圧値を検出し、検出された電圧値が所定値以下となった場合において、前記所定値に対する放電電圧の低下量に対応させて放電電流を増加させるようにしたことを特徴とするワイヤボンダーにおけるボール形成方法。