超純水製造装置の洗浄方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-000238
公開番号（公開出願番号）：特開平7-195073
出願日： 1994年01月06日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】超純水製造装置の循環系全部の洗浄を行なう。【構成】洗浄剤としてイソプロピルアルコール水溶液を循環系内に循環させる。

請求項（抜粋）：

純水貯槽から供給される純水を少なくともカートリッジ・ポリッシャと膜処理装置とに通水して超純水を得、これを超純水の使用場所に送水してその使用に供すると共に、残余の超純水を再び純水貯槽に返送する循環系を構成してなる超純水製造装置の洗浄方法において、前記循環系をアルコール又はその水溶液で洗浄することを特徴とする超純水製造装置の洗浄方法。

IPC (3件)：

C02F 1/42 , B08B 3/10 , C02F 1/44

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-007497
特開昭58-038392
特開昭60-102950

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