特許
J-GLOBAL ID:200903043024538555

縮小投影レンズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-275658
公開番号(公開出願番号):特開平7-128592
出願日: 1993年11月04日
公開日(公表日): 1995年05月19日
要約:
【要約】【目的】 レンズ系の硝材総肉厚を薄くして透過率を向上させることができる高解像の縮小投影レンズ。【構成】 負の屈折力を持つ第1群Iと、正の屈折力を持つ第2群IIと、正の屈折力を持つ第3群III との計3群から構成され、第1群I、第2群II、及び、全系の焦点距離をそれぞれf<SB>1 </SB>、f<SB>2 </SB>、fとしたとき、3<|f<SB>1 </SB>/f|<5,10<f<SB>2 </SB>/f<25の条件を満足する。各群に少なくとも1面の非球面を有し、各非球面は、レンズ光軸から周縁に行くに従って光軸近傍の屈折力を弱める形状の非球面であることが望ましく、また、各レンズを屈折率1.6以下の硝材により構成することが望ましい。
請求項(抜粋):
物体側より順に、負の屈折力を持つ第1レンズ群と、正の屈折力を持つ第2レンズ群と、正の屈折力を持つ第3レンズ群との計3群から構成され、第1レンズ群、第2レンズ群、及び、全系の焦点距離をそれぞれf<SB>1 </SB>、f<SB>2 </SB>、fとしたとき、以下の条件を満足することを特徴とする縮小投影レンズ。 3<|f<SB>1 </SB>/f|<5 ・・・(1) 10<f<SB>2 </SB>/f<25 ・・・(2)
IPC (2件):
G02B 13/18 ,  G02B 13/24

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