フラットパネルディスプレイ基板用ハードコート

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：奥山尚一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-562574
公開番号（公開出願番号）：特表2002-521247
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2002年07月16日
要約：

【要約】本発明は、コーティングが無定形であり、かつC、H、Si及びOからなるために、フラットパネルディスプレイのプラスチック基板に必要な性能を提供する独特のハードコーティングに関する。本発明のコーティングは、硬く、光学的に透明で、耐擦傷性・耐摩耗性で疎水性である。それは、低密度の、低温プラズマ強化化学蒸着(PECVD)工程により堆積され、優れたバリア防護及び湿気、酸素、ヘリウム及び他の蒸気に対する低減した透過性を示す。

請求項（抜粋）：

無定形構造で、炭素、水素、ケイ素及び酸素からなる、プラスチック基板用の耐摩耗性で、透明なバリアコーティングであって、上記コーティングが約70°C以下の温度及び約50ミリトルから約500ミリトルの範囲の圧力で堆積され、更に上記コーティングが約2から約10GPaの範囲のナノ押込み硬度特性を有するコーティング。

IPC (4件)：

B32B 9/00 , C23C 16/30 , G02F 1/1333 500 , G09F 9/30 310

FI (4件)：

B32B 9/00 A , C23C 16/30 , G02F 1/1333 500 , G09F 9/30 310

Fターム (55件)：

2H090JA07 , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JD15 , 4F100AA20B , 4F100AB03 , 4F100AB04 , 4F100AB11 , 4F100AG00 , 4F100AK01A , 4F100AK04 , 4F100AK17 , 4F100AK45 , 4F100BA02 , 4F100BA07 , 4F100EH66 , 4F100EJ61B , 4F100GB41 , 4F100JA12B , 4F100JA13B , 4F100JB06B , 4F100JD01B , 4F100JD03 , 4F100JD04 , 4F100JK09B , 4F100JK12B , 4F100JN01B , 4F100YY00B , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030AA14 , 4K030AA17 , 4K030BA27 , 4K030BA35 , 4K030BA44 , 4K030BB05 , 4K030CA07 , 4K030DA03 , 4K030FA01 , 4K030JA06 , 4K030LA01 , 4K030LA18 , 5C094AA15 , 5C094AA31 , 5C094AA36 , 5C094AA38 , 5C094AA43 , 5C094DA13 , 5C094EB01 , 5C094EB02 , 5C094FA02 , 5C094JA01 , 5C094JA08 , 5C094JA11 , 5C094JA20

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