特許
J-GLOBAL ID：200903043030718522
連続真空蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-082274
公開番号（公開出願番号）：特開平6-299353
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【目的】 蒸着基板以外の部分に無効蒸着物が堆積するのを防止し、かつ無効蒸着物の回収を行い蒸着材料の無駄を無くし、蒸着基板の蒸着膜を所定の膜厚分布にすることができる連続真空蒸着装置を提供する。【構成】 真空中で電子銃4によりルツボ2a、2bから蒸発材料3a、3bを蒸発させ、連続的に供給される蒸着基板7の表面に蒸着膜を形成させる連続真空蒸着装置において、ルツボの上側縁にルツボの上面開口の面積を可変する蒸発流制御板20a、20b、21a、21b、22a、22bを傾動自在に設け、かつ蒸発流制御板に加熱手段を設ける。
請求項（抜粋）：
真空中で、ルツボから蒸着材料を蒸発あるいは昇華させ、連続的に供給される走行基板の表面に蒸着膜を形成する連続真空蒸着装置において、前記ルツボの上側縁にルツボの上面開口の面積を可変する蒸発流制御板を傾動自在に設け、かつ該蒸発流制御板に加熱手段を設けた、ことを特徴とする連続真空蒸着装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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