特許

J-GLOBAL ID：200903043033307930

基板搬送装置

発明者： 岡田 和人
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077474
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277586
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送ロボットの走行方向の移動により誘起される気流によるパーティクル巻き上げを抑制する基板搬送装置を提供すること。【解決手段】 ダウンフローが作用するハウジング内で基板11を載せて走行し、基板処理部に対して基板11の搬送を行う基板搬送装置32であって、基板11を載置する基板載置手段10を基板処理部に向けて進退させる第1位置及び第2位置を取りうるロボット手段1に、走行方向に向かって作用する整流手段4、5、7を設ける。整流手段4、5、7を設けることにより、ダウンフローが作用している中をロボット手段1が高速で走行しても、ダウンフローによる乱れ渦の発生を抑えることができるため、上昇流や循環流によるパーティクルの巻き上げを防止できる。

請求項（抜粋）：

ダウンフローが作用するハウジング内で基板を載せて走行し、前記ハウジングに接続された基板処理部に対して前記基板の搬送を行う基板搬送装置であって、前記基板を載置する基板載置手段と、前記基板載置手段を前記基板処理部に向けて進退させる第1位置及び第2位置と、前記基板を前記基板処理部に移載するための上昇位置及び下降位置とを取りうるロボット手段と、前記ロボット手段を走行させるレール手段とを備え、前記ロボット手段には、走行方向に向かって作用する整流手段が設けられたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 19/00 ,  B65G 49/00

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 19/00 H ,  B65G 49/00 A

Fターム (22件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA00 ,  3F060DA00 ,  3F060DA07 ,  3F060DA09 ,  3F060EA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060HA28 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA41 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031NA03 ,  5F031NA08 ,  5F031NA16 ,  5F031PA16