特許
J-GLOBAL ID：200903043033414281
誘導結合プラズマトーチ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (5件)：
古谷 馨
, 溝部 孝彦
, 古谷 聡
, 持田 信二
, 義経 和昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-323382
公開番号（公開出願番号）：特開2004-158314
出願日： 2002年11月07日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：
【課題】キャピラリーチューブをインジェクターチューブと同心に安定に保持するとともにメイクアップガスをスムーズに流すことができる誘導結合プラズマトーチを提供する。【解決手段】本発明の誘導結合プラズマトーチは、インジェクターチューブの先端部分近傍に保持されたガイドを含み、このガイドが、キャピラリーチューブをインジェクターチューブと同心に保持する貫通孔と、メイクアップガスを通過させる手段を有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
インジェクターチューブと、
前記インジェクターチューブに収容され、高温のメイクアップガスを流すためのメイクアップガスチューブと、
前記メイクアップガスチューブ内に収容され、前記インジェクターチューブの先端部分まで延伸し、高沸点気体状分子をキャリアガスと一緒に流すためのキャピラリーチューブとを有する誘導結合プラズマトーチであって、
前記インジェクターチューブの先端部分近傍に保持されたガイドを含み、このガイドが、前記キャピラリーチューブを前記インジェクターチューブと同心に保持する貫通孔と、前記メイクアップガスを通過させる手段を有する誘導結合プラズマトーチ。
IPC (4件)：
H05H1/42
, G01N21/73
, H01J49/10
, H05H1/30
H05H1/42
, G01N21/73
, H01J49/10
, H05H1/30
2G043CA01
, 2G043EA08
, 2G043GA06
, 2G043GA11
, 2G043GB01
, 2G043GB02
, 2G043GB07
, 2G043GB16
, 5C038GG09
, 5C038GH04
, 5C038GH08
