特許
J-GLOBAL ID：200903043036578366
電位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-058525
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273465
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】この発明は、微小な領域の電位測定を可能とすることを目的とする。【構成】 この発明は、電位測定面1に対して微小な間隔を隔てて位置し、かつ、少なくともこの電位測定面2に対向する部分に絶縁性物質1aが付いた導電性の測定プローブ1と、この測定プローブ1と定電位源4との間に接続される電気素子3と、この電気素子3を出入りする電荷を測定する電荷測定手段5とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
電位測定面に対して微小な間隔を隔てて位置し、かつ、少なくともこの電位測定面に対向する部分に絶縁性物質が付いた導電性の測定プローブと、この測定プローブと定電位源との間に接続される電気素子と、この電気素子を出入りする電荷を測定する電荷測定手段とを備えたことを特徴とする電位測定装置。
IPC (3件)：
G01R 29/12
, G01N 27/60
, G01R 19/00
