特許

J-GLOBAL ID：200903043039183699

静電駆動マイクロシャッターおよびシャッターアレイ

発明者： 鈴木 健一郎
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037144
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250593
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 静電気的に制御可能な微小機械式シャッターおよびシャッターアレイを提供するものであり、特に表示デバイス、切り替え、あるいはメモリーデバイスとして用いることのできるデバイス構造を示す。【構成】 機械式シャッター12とこの横に置かれた浮遊ゲート7との間に、同種の荷電を注入することによって生じる互いに反発する力を利用して、光の照射領域の上で機械式シャッターを基板1に平行な方向に開閉させる静電駆動マイクロシャッター。

請求項（抜粋）：

基板上の一部に設けられた開口穴とこの開口穴の上に位置して基板から浮上した状態で基板に支持された機械式シャッターとからなる表示セル、および、前記機械式シャッターに電気的に結合された浮遊ゲートに電荷を供給する駆動セルから構成され、前記浮遊ゲートとの間に互いに反発するように働く静電気力によって、前記機械式シャッターが基板表面に平行に動くことができることを特徴とする静電駆動マイクロシャッター。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭52-031718
  
• 特開平4-240890
  
• 特開平4-199084