特許
J-GLOBAL ID：200903043042421347
2次電子検出器及び電子線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-218701
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062634
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成の付加で検出器を移動することなく、低加速電圧下での試料表面の帯電を押さえ検出性能を高めることができる2次電子検出器を提供する。【構成】 電子ビームを試料に照射することにより試料から放出される2次電子を検出する2次電子検出器及び電子線分析装置において、検出する2次電子が入射する2次電子検出面の前方に先拡がりの開口を有するラッパ型の静電レンズ2、2′を配置し、印加する電圧を変えることによって2次電子検出面に2次電子を集束させる電場の形状を変え、また、ラッパ型の静電レンズを上側と下側に分割して個別に電圧を印加する。これにより、検出器を前後に移動させたのと同じ効果をラッパ型の静電レンズ2、2′の印加電圧の制御により実現することができ、この印加電圧の制御により低加速電圧下での試料表面の帯電を押さえ検出性能を高めることができる。
請求項（抜粋）：
電子ビームを試料に照射することにより試料から放出される2次電子を検出する2次電子検出器において、検出する2次電子が入射する2次電子検出面の前方に先拡がりの開口を有するラッパ型の静電レンズを配置し、印加する電圧を変えることによって2次電子検出面に2次電子を集束させる電場の形状を変えるようにしたことを特徴とする2次電子検出器。
IPC (3件)：
H01J 37/244
, H01J 49/06
, G01N 23/225
