特許
J-GLOBAL ID：200903043045713985
ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242581
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107141
出願日： 1994年10月06日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】クリープ変形を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供する。【構成】蓋体3の底面に装着されて、内箱1に収納された各ウェーハWの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え4が、直方形をした支持枠5と、その内の相対する二辺に基部Aが連設され内方へU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材6とからなり、弾性部材6の先端Eは蓋体3の底面に接して配設されているものである。
請求項（抜粋）：
蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が連設され内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材とからなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設されていることを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑え。
IPC (2件)：
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