特許
J-GLOBAL ID：200903043053087546
縦型熱処理炉
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-243413
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082461
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 縦型熱処理炉において、半導体基板搬入時における大気の巻き込みを防止する。【構成】 第1の炉芯管101の内部に第2の炉芯管103を有し、第2の炉芯管103の表面には複数の小孔106が設けてある。さらに第2の炉芯管103には、小孔106を介して気体を導入する導入管105と気体を排気する排気管107が併設されている。【効果】 半導体基板を炉芯管内に搬入する際、大気の巻き込みによる半導体基板表面の不要な酸化を防止できる。
請求項（抜粋）：
第1の炉芯管と第2の炉芯管とを有する縦型熱処理炉であって、第1の炉芯管と第2の炉芯管とは、内外2重に組み合されるものであることを特徴とする縦型熱処理炉。
IPC (2件)：
引用特許：
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