インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312507
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138811
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】駆動電極6及び分極用の電極7のインク室5外への取り出しを容易に行えるようにするとともに、インクの漏れの心配がなく、また、充分な接合強度をもった小型のインクジェット記録ヘッド1を製作できるようにする。【解決手段】セラミックスからなる第1平板3の表面に圧電性セラミックスからなる複数の隔壁4を等間隔に焼結一体化し、これら隔壁4間をインク室5とするとともに、上記隔壁4と第1平板3との間には分極用の電極7を埋設してある。また、上記隔壁4の両側面には駆動電極6を備えるとともに、上記インク室5の底には上記駆動電極6と導通し、かつインク室5内からインク室5外へ導出する導出用電極8を設けてあり、上記インク室5を塞ぐように第1平板3に分極用の他方電極7’をなす第2平板を接合してインクジェット記録ヘッド1を構成してある。

請求項（抜粋）：

互いに対向する第1平板と第2平板との間にインク室を構成する圧電性セラミックスからなる隔壁を複数配列するとともに、これら隔壁の両側面に駆動電極を備えてなり、上記駆動電極に通電して前記隔壁を変位させることによりインク室内を加圧し、該インク室に連通するノズルからインクを吐出するようになしたインクジェット記録ヘッドにおいて、上記第1平板がセラミックスから成り、その表面には前記隔壁に分極電圧を印加する分極用の一方電極を埋設した状態で上記隔壁を焼結一体化するとともに、前記第2平板自体を分極用の他方電極とするか、あるいは隔壁の上面に分極用の他方電極を設けてなるインクジェット記録ヘッド。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-263955
インクジェット記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-175484 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-353464

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