電荷検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160725
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007146
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】バッファ・ゲートを配置することで寄生容量を削減し電荷検出装置の高感度化・広帯域化を図るとともに、Pウェル分離によってノイズ混入を防止する。【構成】ゲート酸化膜100厚を500〜700Å、ポリシリコン酸化膜101厚を800〜1100Å程度に設定し、コンタクト孔3はPP2とドレイン5を接続する。PP2を新たに設けることで、容量C10が発生するものの、従来のオーバーラップ容量C7を削減できる。またC7>C10が成り立つため、寄生容量の削減が可能となり、感度の向上及び周波数特性の向上が図れる。

請求項（抜粋）：

ソース領域と、ドレイン領域と、実効チャンネルに対応する第1のポリシリコンによるゲート電極と、前記ソース領域及びドレイン領域と接続された第2のポリシリコンによるバッファ電極からなり、前記ゲート電極と前記ソース領域またはドレイン領域との結合容量が、前記ゲート電極と前記バッファ電極で決まるトランジスタを電荷検出のソースフォロワに用いることを特徴とする電荷検出装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-137235
特開平2-262344
特開平4-094547

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