ガス濃度検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-181874
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372514
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】ガス濃度検出に影響を及ぼすことなく素子抵抗を好適に検出すること。【解決手段】ガス濃度センサ100は、チャンバーに導入した被検出ガス中の酸素を排出又は汲み込むポンプセル110と、ポンプセル110を通過した後のガスから特定ガス成分の濃度を検出するためのセンサセル130と、チャンバー内の残留酸素濃度を検出するためのモニタセル120とを備える。制御回路200は、センサセル130に流れた電流を検出し、その検出値から特定ガス成分の濃度を逐次検出する。また、制御回路200は、センサセル130以外のセル、例えばモニタセル120に対して印加する電圧又は電流を所定周期で一時的に切り換え、その時の電圧変化及び電流変化から素子インピーダンス(素子抵抗)を検出する。

請求項（抜粋）：

チャンバーに導入した被検出ガス中の酸素を排出又は汲み込むポンプセルと、ポンプセルを通過した後のガスから特定ガス成分の濃度を検出するためのセンサセルと、チャンバー内の残留酸素濃度を検出するためのモニタセルとを少なくとも備えるガス濃度センサを用い、各セルが設けられる固体電解質素子の抵抗値に基づき各セルを活性状態に保持するガス濃度検出装置において、センサセルに流れた電流を検出し、その検出値から特定ガス成分の濃度を逐次検出するガス濃度検出手段と、センサセル以外のセルに対して印加する電圧又は電流を所定周期で一時的に切り換え、その時の電圧変化及び電流変化から素子抵抗を検出する素子抵抗検出手段と、を備えたことを特徴とするガス濃度検出装置。

IPC (4件)：

G01N 27/416 , G01N 27/02 , G01N 27/27 , G01N 27/41

FI (9件)：

G01N 27/02 Z , G01N 27/46 331 , G01N 27/46 325 N , G01N 27/46 A , G01N 27/46 325 H , G01N 27/46 325 D , G01N 27/46 325 Q , G01N 27/46 325 P , G01N 27/46 311 G

Fターム (18件)：

2G060AA09 , 2G060AD01 , 2G060AD04 , 2G060AF03 , 2G060AF06 , 2G060AG08 , 2G060AG11 , 2G060BB09 , 2G060GA03 , 2G060HA02 , 2G060HB06 , 2G060HC09 , 2G060HC13 , 2G060HC19 , 2G060HC21 , 2G060HE02 , 2G060KA01 , 2G060KA03

前のページに戻る