特許
J-GLOBAL ID：200903043078108556

酸化物焼結体及びその製造方法

発明者：
鈴木 了

鈴木 了 について


出願人/特許権者：
株式会社日鉱マテリアルズ

株式会社日鉱マテリアルズ について


代理人 (1件)： 小越 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-394263
公開番号（公開出願番号）：特開2002-193668
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】 4N以上に高純度精製したMRuO3焼結体原料を使用し、より低温での焼結が可能であり、かつ高密度焼結体を得ることができるMRuO3(M:Ca、Sr、Baのいずれか一種以上)の化学式で表されるペロブスカイト構造を有する酸化物焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 Na、Kなどのアルカリ金属元素及びFe、Ni、Co、Cr、Cu、Alの含有量が総計で100ppm以下、U、Thの各元素の含有量が10ppb以下であり、かつ相対密度が90%以上であることを特徴とするMRuO3(M:Ca、Sr、Baのいずれか一種以上)の化学式で表されるペロブスカイト構造を有する酸化物焼結体。
請求項（抜粋）：
Na、Kなどのアルカリ金属元素及びFe、Ni、Co、Cr、Cu、Alの含有量が総計で100ppm以下、U、Thの各元素の含有量が10ppb以下であり、かつ相対密度が90%以上であることを特徴とするMRuO3(M:Ca、Sr、Baのいずれか一種以上)の化学式で表されるペロブスカイト構造を有する酸化物焼結体。
IPC (4件)：
C04B 35/495 ,  C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/316
FI (4件)：
C23C 14/34 A ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/316 Y ,  C04B 35/00 J
Fターム (19件)：
4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA26 ,  4G030BA09 ,  4G030CA01 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4K029BA50 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BF12 ,  5F103AA08 ,  5F103BB22 ,  5F103DD27
引用特許：
審査官引用 (4件)
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