レーザ光を利用した形状測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土井健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031544
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230814
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】被測定物の表面状態にかかわらず非接触三次元形状測定を行うことを可能にする。【解決手段】本発明は、被測定物の表面の同じ位置に対して、レーザ光の強度を変化させて複数回照射し、被測定物の表面状態に応じて最適な強度のレーザ光に対する反射光の画像を撮像し、それらの合成画像によって被測定物の表面の形状線を求めて表面形状を測定することを特徴とする。このようにすることで、被測定物の全ての表面に対して精度の高い画像を取得することができ、全ての表面の形状を精度よく測定することができる。また、本発明は、被測定物の表面がレーザ光の反射の散乱が少ない鏡面の場合は、その表面上に有機物または無機物の微粒子を分布させ、表面の反射光の散乱を多くして測定することを特徴とする。例えば、電子印刷などで利用される黄色のトナーなどの粒径が例えば0.1μm程度の微粒子を表面に一様に分散させ、そこにレーザ光を照射する。その結果、表面が鏡面であってもその表面からの反射光は適度に散乱するので、十分な光量を有する画像をカメラから撮像することが可能になる。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面にレーザ光を照射し、その反射光の画像をカメラで撮像して被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、第1の強度のレーザ光を前記被測定物の表面に照射した時の前記反射光による第1の画像を取得する工程と、前記第1の画像で前記反射光の画像が不十分な領域において、前記第1の強度よりも大きい第2の強度のレーザ光を前記被測定物の表面に照射した時の前記反射光による第2の画像を取得する工程と、前記第1の画像に、前記第2の画像を補間して合成した合成画像に従って、前記被測定物の表面形状を測定する工程とを有することを特徴とする形状測定方法。

FI (2件)：

G01B 11/24 K , G01B 11/24 A

Fターム (20件)：

2F065AA04 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065CC00 , 2F065DD09 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065HH05 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065NN02 , 2F065QQ03 , 2F065QQ31 , 2F065QQ32 , 2F065SS02 , 2F065SS13

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