特許

J-GLOBAL ID：200903043087159600

ウエハ観察装置

発明者： 小松 学 ,  本間 倉太 ,  田澤 久史 ,  渡辺 理香
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302408
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148391
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】オペレータが顕微鏡観察を容易にできつつ、かつ、カセット部の交換が容易なウエハ観察装置を実現する。【解決手段】ウエハを収納するカセット部材2と、前記ウエハを搬送する搬送装置10,23と、この搬送装置10,23により搬送された前記ウエハを観察する観察装置22と、を備えたウエハ観察装置であって、カセット部材2は、観察装置22が設置される位置よりも低い位置に設置されている。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納するカセット部材と、前記ウエハを搬送する搬送装置と、前記搬送装置により搬送された前記ウエハを観察する観察装置と、を備えたウエハ観察装置において、前記カセット部材は、前記観察装置が設置される位置よりも低い位置に設置されることを特徴とするウエハ観察装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  B65G 43/08 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/66 J ,  B65G 43/08 F ,  G01N 21/84 C ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/68 A