特許
J-GLOBAL ID：200903043088440133
圧電薄膜振動子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-101960
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284481
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 周波数特性の悪化を防止することができる圧電薄膜振動子を提供する。【解決手段】 基板1に形成される開口部2の上側に絶縁部材3と下部電極部4と圧電薄膜部材5と上部電極部6を積層して振動素子Pを構成する。下部電極部4と上部電極部6にはそれぞれ引き出し電極部を接続し、それら各引き出し電極部をそれぞれ電極パッドに接続する。それら一方の電極パッドから振動素子Pを迂回して他方側の電極パッドに至る電流の通電経路を構成する基板1には凹部20を形成する。この凹部20によって上記通電経路の断面積を削減することができ、電流は基板1を流れ難くなり上記通電経路のインピーダンスを大きくすることができる。このことから、電流の殆どは一方の電極パッドから振動素子Pを通って他方側の電極パッドに至るメインの通電経路を電流の周波数によらずに通電するので、圧電薄膜振動子の周波数特性の悪化を防止することができる。
請求項（抜粋）：
絶縁部材と下部電極部と圧電薄膜部材と上部電極部とが順に積層形成された積層体が基板に絶縁部材を基板側に向けて保持形成されており、上記下部電極部には下部引き出し電極部が、上部電極部には上部引き出し電極部がそれぞれ導通接続され、上記下部引き出し電極部は下部電極パッドに、上部引き出し電極部は上部電極パッドにそれぞれ導通接続されている圧電薄膜振動子において、上記下部電極パッドと上部電極パッドの一方側から上記積層体を迂回して他方側の電極パッドに至る電流の通電経路を構成する基板には電流の流れを妨げる通電妨害部が形成されていることを特徴とする圧電薄膜振動子。
IPC (4件)：
H03H 9/17
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 3/02
H03H 9/17 F
, H03H 3/02 B
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
