特許
J-GLOBAL ID：200903043090115207
ワイヤーソーのウェーハ切断方法及びその装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-000733
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205141
出願日： 1994年01月10日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】切断部に加工液が供給され易くして、切断性能及び切断精度を向上させることができるワイヤーソーのウエハ切断方法及びその装置を提供する。【構成】円柱状の半導体インゴット18を切断する切断部44におけるワイヤー列15Aの走行方向を鉛直方向下向きに形成する。そして、切断送り機構20に支持した半導体インゴット18を、該ワイヤー列15Aに対して直交するように横送りして押し当てると共に、切断部44の上方位置に配設した砥液供給ノズル40からワイヤー列15Aに対して加工液42を供給する。これにより、ワイヤー列15Aに供給された加工液42はワイヤー列15Aを伝って流れ落ちるので、加工液42の切断部44への供給を確実に行うことができる。
請求項（抜粋）：
被加工物の長手方向を、走行するワイヤー列に直交するように押し当てると共に、前記ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給しながら前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーのウェーハ切断方法に於いて、前記被加工物の切断部におけるワイヤー列の走行方向を鉛直方向下向きに設定すると共に、前記切断部の上方位置から前記加工液をワイヤー列に供給することを特徴とするワイヤーソーのウェーハ切断方法。
IPC (4件)：
B28D 5/04
, B24B 27/06
, B24B 57/02
, H01L 21/304 311
