特許

J-GLOBAL ID：200903043091760157

軸受装置

発明者： 村井 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070620
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272536
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】【目的】この発明は、軸受体に流体圧によって非接触状態で支持される可動体の支持剛性を高めることができるようにした軸受装置を提供することにある。【構成】軸受体1と、この軸受体に支持される可動体4と、上記軸受体と可動体との対向面間に流体を供給し、この流体圧によって上記可動体を上記軸受体に非接触状態で支持する供給孔6と、上記軸受体と可動体との間に電圧を印加して静電力を発生させる電源9とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

軸受体と、この軸受体に支持される可動体と、上記軸受体と可動体との対向面間に流体を供給し、この流体圧によって上記可動体を上記軸受体に非接触状態で支持する流体供給手段と、上記軸受体と可動体との間に電圧を印加して静電力を発生させる静電力発生手段とを具備したことを特徴とする軸受装置。

IPC (3件)：

F16C 32/00 ,  F16C 32/04 ,  F16C 32/06