処理装置及びドライクリーニング方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：亀谷美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-205213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-115066
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【目的】 TiやTiNに最適なドライクリーニング実施可能な処理装置を提案する。【構成】本発明によれば、処理室内に収容された被処理体に対して金属又はその化合物を成膜させる処理装置において行われるプラズマレスのドライクリーニングのために、少なくともフッ化物を含むクリーニングガスを前記処理室内に導入するためのガス導入手段と、後処理として少なくともアルコール類を含むガスを前記処理室内に導入するためのガス導入手段とを設けたことを特徴とする、処理装置が提供される。このように,クリーニングガスとして、フッ素系のガスを使用した場合には、後処理として、IPAを添加することにより、蒸気圧の低いフッ化物を蒸気圧の高いアルコキシドへ転換することにより、容易に気相化させ、処理室外に排気することが可能である。

請求項（抜粋）：

処理室内に収容された被処理体に対して金属又はその化合物を成膜させる処理装置において行われるプラズマレスのドライクリーニングのために、少なくともフッ化物を含むクリーニングガスを前記処理室内に導入するためのガス導入手段と、後処理として少なくともアルコール類を含むガスを前記処理室内に導入するためのガス導入手段とを設けたことを特徴とする、処理装置。

IPC (5件)：

C23C 16/44 , H01L 21/285 , H01L 21/285 301 , H01L 21/304 645 , H01L 21/3065

FI (5件)：

C23C 16/44 J , H01L 21/285 C , H01L 21/285 301 R , H01L 21/304 645 Z , H01L 21/302 N

Fターム (24件)：

4K030BA18 , 4K030BA38 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030DA06 , 4M104BB14 , 4M104BB30 , 4M104DD39 , 4M104DD43 , 4M104DD44 , 4M104HH20 , 5F004AA15 , 5F004BB18 , 5F004BB22 , 5F004BB26 , 5F004BB28 , 5F004BC05 , 5F004BC06 , 5F004BD04 , 5F004CA02 , 5F004DA00 , 5F004DA22 , 5F004DA23 , 5F004DA25

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平3-094059

前のページに戻る